模組
Milara 晶圓傳送機械手臂 / 晶圓尋邊器
Diamond E5 電梯傳送模組
[簡介&摘要]
- 應用於真空環境下之電梯機構負責晶圓Load/Unload
- 控制器與運轉機構皆內建在主體內部，節省設備空間
- 無碳刷伺服馬達設計，反應時間快，沒有碳刷磨損問題
- 通訊界面: RS-232、Ethernet
- MTBF > 60,000 小時
- 符合無塵室等級:1
- 符合SEMI規範
[適用產業&應用範圍]
半導體封裝，發光二極體，模組及其他等。
[規格&型號]
Diamond E5 電梯傳送模組
- 支援尺寸 : Wafer Size 2”(50mm) to 12”(300mm)
- 承重 : 55.1 lbs(25 kg)
- 手臂重量 : 45.6 lbs(21 kg)
- 操作溫度 : 50°F-104°F (10°C to 40°C)
- 電壓需求 : 100-120AVC, 200-240VAC