[簡介&摘要]

旋轉塗佈機 SM系列是手動或半自動薄膜塗佈的最佳選擇，適用於表面沒有或有非常矮結構的晶圓或基板塗佈作業。所有市面上的光阻與塗層材料都可應用。適用產品尺寸，從樣品尺寸 8mm 到12" 晶圓，皆可使用。  

SM 系列的優點在於，具有令人信賴的膜厚均一性和製程重複性，並且操作簡單。為了使花費在製程區清潔上的時間最小化，SAWATEC 開發了一種非常實用且經濟的製程區保護碗。製程結束後，可以簡單地移除此保護碗，節省清節保養時間。經由高品質設計，也可以將維護成本最小化。因此，SAWATEC旋塗機可被優先應用於實驗室，研發與小批量生產。
該旋塗機可提供便攜桌上型、內嵌式和落地型。

功能(基本配置)
- 可編程，最多 50 個程式 (各包含 24 個程序段)
- 適用於重複製程的快速啟動功能
- 觸控面板控制，方便使用者程序配置
- 工藝參數：轉速、加速度、製程時間
- 旋轉方向可選 (順時針、逆時針)
- 通過具有安全保護的真空系統進行基板固定
- 製程結束時的提醒聲音信號

性能數據
- 轉速範圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm
- 轉速加速度：0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm 為1秒 
- 減速度：10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒 
- 工藝時間最長為 2376 s
- 每個程序段的供膠時間為 99 s
 

[適用產業&應用範圍]

半導體，發光二極體，模組及其他等。