模組
Sawatec 微影製程設備
SM-200/HP-200 duo
[簡介&摘要]
SAWATEC 雙系統，將旋塗模組或顯影模組與加熱板，置放在一個緊湊的框架中。堅固的設計、高品質和靈活組合性，可對應於不同的基板尺寸。
雙系統特別適用於實驗室、研發和小批量生產； 並可方便移動。
[適用產業&應用範圍]
半導體，發光二極體，模組及其他等。
[規格&型號]
SM-150/SM-200/SM-300
SM-150 對應150mm圓形/5" x 5"方形基板
SM-200 對應200mm圓形/6" x 6"方形基板
SM-300 對應300mm圓形/8" x 8"方形基板
HP-150/HP-200/HP-200-Z/HP-300-Z
HP-150 對應150mm面積，最大5mm厚度基板
HP-200 對應200mm面積，最大18mm厚度基板
HP-300-Z 對應300mm面積，最大20mm厚度基板