模組
Sawatec 微影製程設備
Cluster systems : CS series
[簡介&摘要]
Cluser System 是全自動 cassette-to-cassette 應用方案。 模組化 CS 系列由晶圓傳送機械手臂做傳送，搭配光學式晶圓尋邊器和三個製程站所組成。我們依照標準製程程序，開發了合適的配置。
由於模組化與靈活的設計，CS 系列可依照客戶生產條件，客製化解決方案 (Challenger series)
[適用產業&應用範圍]
半導體，發光二極體，模組及其他等。
[規格&型號]
CS-200-4 pioneer
iSPRAY-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate
CS-200-4 sirius
SM-200/ SMD 200 or SMD-200-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate
CS-300-4 explorer
SM-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate
CS-300-4 orbiter
iSPRAY-300/ SMD 300 or SMD-300-E (etching)/ 3 stacked hotplates/ 1 coolplate